在氧化锆中(zhōng)添加导電(diàn)性材料，是一种具(jù)有(yǒu)静電(diàn)对策最佳表面電(diàn)阻的陶瓷。由于静電(diàn)即使带電(diàn)也会被慢慢除電(diàn)，利用(yòng)防止因带電(diàn)造成的产(chǎn)品的误吸和静電(diàn)破坏的特点，被用(yòng)于生产(chǎn)線(xiàn)的夹具(jù)等。本公(gōng)司的ESD对策氧化锆陶瓷，在保持氧化锆优良机械特性的同时，产(chǎn)品内部也具(jù)备非常稳定的半导通特性（體(tǐ)积固有(yǒu)電(diàn)阻），避免因接触/分(fēn)离引起的带電(diàn)故障，保护電(diàn)子零部件/半导體(tǐ)零部件。
特長(cháng)
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高强度、稳定的半导通材料
拥有(yǒu)丰富稳定的半导通特性（電(diàn)阻率 105～109Ω) 材料,可(kě)从中(zhōng)选择高强度及最佳阻值的材料
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高精(jīng)度复杂形状对应
通过冲压成形、注塑成形（CIM）、切削、高精(jīng)度磨削加工(gōng)，从简单形状到复杂形状均可(kě)广泛使用(yòng)
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导電(diàn)性粘接技(jì )术
金属组装(zhuāng)用(yòng)特有(yǒu)的导電(diàn)性粘接技(jì )术※可(kě)以对应陶瓷和金属的组合件※京瓷调查（2022年8月25日现在）
高强度ESD材
表面電(diàn)阻值低的材料受添加材料的影响，其强度趋向于低。随着零件的小(xiǎo)型化、薄化，我们开发了适应提高强度要求的新(xīn)材料。
本公(gōng)司氧化锆材料的三点弯曲强度与表面電(diàn)阻的关系
用(yòng)途示例
電(diàn)子器件零件和半导體(tǐ)制造零件等的ESD措施和要求耐磨性（硬度）的制造工(gōng)艺中(zhōng)，使用(yòng)具(jù)有(yǒu)导電(diàn)性的氧化锆陶瓷。（输送用(yòng)吸附喷嘴、切片装(zhuāng)置夹具(jù)、检查用(yòng)镊子等）
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输送用(yòng)吸附喷嘴
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切片装(zhuāng)置的夹具(jù)
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检查用(yòng)镊子
输送用(yòng)吸附喷嘴前端部
输送用(yòng)吸附喷嘴尖端部的形状例子。
□形状示例
※ 材料代码：Z21H12 or Z21H14的制作(zuò)例子。
※ 上述以外的形状也能(néng)对应。
※ 丸孔形状产(chǎn)品,精(jīng)加工(gōng)中(zhōng)Φ0.020±0.003的高精(jīng)度加工(gōng)也有(yǒu)可(kě)能(néng)实现。
※ 金属零件和导電(diàn)粘接也能(néng)对应。
详情请到产(chǎn)品网站 ”运输用(yòng)吸嘴（ESD对策产(chǎn)品）”
导電(diàn)性粘接技(jì )术
材料的带電(diàn)性和電(diàn)荷移动速度依赖于其表面電(diàn)阻，一般来说半导通材料具(jù)有(yǒu)不易带電(diàn)的性质(zhì)，但在带電(diàn)的情况下，产(chǎn)生静電(diàn)破坏的可(kě)能(néng)性。本公(gōng)司凭借特有(yǒu)的导電(diàn)性粘接技(jì )术及多(duō)年的经验，可(kě)实现金属组合，解决了各种静電(diàn)问题。
※京瓷调查（2022年8月25日现在）
■没有(yǒu)使用(yòng)导電(diàn)性粘合剂的情况
■使用(yòng)导電(diàn)性粘合剂的情况
材料数据比较
本公(gōng)司防静電(diàn)氧化锆陶瓷材料及其他(tā)材料的主要特性比较
| 材质(zhì) 材质(zhì)编号 |
静電(diàn)放電(diàn)对策氧化锆 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Z21H04 | Z21H05 | Z21H07 | Z21H12 | Z21H14 | ||||
| 呈色 | 黒色 | 黒色 | 乳白色 | 黒色 | 黒色 | |||
| 密度 | g/cm3 | 5.6 | 5.8 | 5.7 | 5.7 | 5.7 | ||
| 机械性能(néng) | 维氏硬度 HV9.807N | GPa | 10.8 | 12.4 | 7.8 | 12.4 | 12.4 | |
| 3点弯曲强度 | MPa | 740 | 685 | 600 | 1,000 | 1,175 | ||
| 杨氏模量 | GPa | 210 | 210 | 200 | 220 | 220 | ||
| 热性能(néng) | 平均線(xiàn)膨胀系数 | 40～400℃ | × 10-6/K | 10.3 | 10.4 | 9.2 | 10.8 | 10.4 |
| 导热率 | 20℃ | W/（m・K） | 3.0 | 3.9 | 3.5 | 4.0 | 4.0 | |
| 電(diàn)气性能(néng) | 表面電(diàn)阻值 | Ω | 108-109 | 106-107 | 107-108 | 106-107 | 106-107 | |
| 體(tǐ)积電(diàn)阻率 | 20℃ | Ω・cm | 107-109 | 105-107 | 106-108 | 105-106 | 105-106 | |
| 材质(zhì) 材质(zhì)编号 |
碳化硅（SiC） | 氧化铝 | 不锈钢 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SC211O | SC1000 | AＯ442Ｏ | SUS304 | |||||
| 呈色 | 黒色 | 黒色 | 黒褐色 | - | ||||
| 密度 | g/cm3 | 3.2 | 3.16 | 3.7 | 7.93 | |||
| 机械性能(néng) | 维氏硬度 HV9.807N | GPa | 22.0 | 23.0 | 9.6 | 6.4 | ||
| 3点弯曲强度 | MPa | 600 | 500 | 245 | 519 | |||
| 杨氏模量 | GPa | 430 | 440 | 284 | 206 | |||
| 热性能(néng) | 平均線(xiàn)膨胀系数 | 40～400℃ | × 10-6/K | 3.7 | 3.7 | 7,4 | 10,4 | |
| 导热率 | 20℃ | W/（m・K） | 60 | 200 | 12 | 26 | ||
| 電(diàn)气性能(néng) | 體(tǐ)积電(diàn)阻率 | 20℃ | Ω・cm | 105 | 108 | >109 | 10-3 | |
※成為(wèi)基于公(gōng)司内部测定结果的代表值。
※Z21H07是非磁性材料。
體(tǐ)积電(diàn)阻率（體(tǐ)积固有(yǒu)電(diàn)阻）
本公(gōng)司ESD对策氧化锆陶瓷及其他(tā)材质(zhì)的代表案例。根据用(yòng)途，从静電(diàn)扩散性區(qū)域中(zhōng)选择合适的材质(zhì)，可(kě)以大幅降低制造过程中(zhōng)对零件的损伤和损坏。
测定方法
表面電(diàn)阻值（表面完成条件的影响）
本公(gōng)司ESD对策改变了氧化锆陶瓷的表面完成条件以及从表面开始的深度，测量了表面電(diàn)阻值。由于到产(chǎn)品内部為(wèi)止具(jù)有(yǒu)非常稳定的體(tǐ)积固有(yǒu)電(diàn)阻，从表层的深度，表面规格，表面電(diàn)阻值也稳定。
测定条件
| 测量仪器： | 超绝缘计 SUPER MEGOHMMETER SM-8220（HIOKI) |
| 材料： | 氧化锆 Z21H07 |
| 尺寸： | 72 x 48 x 5(mm) |
| 加工(gōng)： | 从块开始加工(gōng) |
表面電(diàn)阻值（加热处理(lǐ)的影响）
本公(gōng)司ESD对策将氧化锆陶瓷在600℃加热，进行1小(xiǎo)时冷却的2个循环，每个循环对9个不同位置的表面電(diàn)阻值进行测量。加热处理(lǐ)后表面電(diàn)阻值没有(yǒu)变化，非常稳定。
测定条件
| 测量仪器： | 超绝缘计 SUPER MEGOHMMETER SM-8220（HIOKI) |
| 材料： | 氧化锆 Z21H07 |
| 尺寸： | 50 x 50 x 5 (mm) |
| 加工(gōng)： | 从块开始加工(gōng) |
测定方法
和一般的氧化锆材料一样，伴随着高温區(qū)域的使用(yòng)条件下，也有(yǒu)影响机械特性的情况。详情请咨询。
如果您正在研究電(diàn)气、電(diàn)子、半导體(tǐ)领域所需的高强度、高耐磨ESD措施零件及夹具(jù)，欢迎前来咨询。
本页(yè)记载的数值全部是公(gōng)司内部测定的代表值，不是产(chǎn)品规格的保证值。