通过引进大型设备，对炉内结构进行改良，充分(fēn)利用(yòng)京瓷近50年积累的单结晶蓝宝石制造技(jì )术，实现了大型蓝宝石的材料培育和磨削、精(jīng)加工(gōng)。
特長(cháng)
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超大型产(chǎn)品的制造可(kě)提供最大尺寸500 mm （a面）的方形产(chǎn)品和最大尺寸200 mm （c面）的圆板状产(chǎn)品※详情看下方设计指南
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从培育到产(chǎn)品化的应对不仅拥有(yǒu)大型蓝宝石的材料培育，还拥有(yǒu)应对磨削、精(jīng)加工(gōng)的大型设备和技(jì )术，可(kě)应对大型蓝宝石的产(chǎn)品化
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精(jīng)密的加工(gōng)技(jì )术即使是大型产(chǎn)品，也可(kě)以管控公(gōng)差±0.1°的面方位※面方位误差是部分(fēn)测量。
设计指南
各产(chǎn)品的最大尺寸
〔单位 mm〕
| 角板状制品 | |||
|---|---|---|---|
| 面方位 | a面 | c面 | r面 |
| 外边 | □500 | □200 | □500 |
| 厚度 | 5 | 10 | 5 |
方形产(chǎn)品示例
〔单位 mm〕
| 圆板状产(chǎn)品 | |||
|---|---|---|---|
| 面方位 | a面 | c面 | r面 |
| 直径 | Φ500 | Φ200 | Φ500 |
| 厚度 | 10 | 10 | 10 |
圆板状产(chǎn)品示例
加工(gōng)对应
在上述尺寸内，也能(néng)够对应全面磨削加工(gōng)及单面·双面镜面加工(gōng)，以及圆环形状·复杂形状品。
※关于各形状的加工(gōng)可(kě)能(néng)的尺寸，请与我们商(shāng)谈。
面方位控制
误差：±0.1°
面方位： a面、c面、r面
※面方位误差是部分(fēn)测量。
※关于其他(tā)方向，请咨询。
晶片标准规范
尺寸
〔单位 mm〕
| 尺寸(inch) | 直径 | 厚度 | 奥利夫拉長(cháng) |
|---|---|---|---|
| 2 | Φ50.8±0.25 | (无指定)±0.025 | 16±3 |
| 3 | Φ76.2±0.25 | (无指定)±0.025 | 22±3 |
| 4 | Φ100±0.25 | (无指定)±0.025 | 32.5±3 |
| 5 | Φ125±0.25 | (无指定)±0.025 | 42.5±3 |
| 6 | Φ150±0.25 | (无指定)±0.025 | 57.5±3 |
| 8 | Φ200±0.25 | (无指定)±0.025 | 57.5±3 |
形状：支持SEMI标准，也可(kě)以是四边形
晶體(tǐ)取向：c面/a面/r面/m面等。也可(kě)以偏离角度
精(jīng)加工(gōng)
| 表面粗糙度(Ra) | 精(jīng)加工(gōng) | 研磨 |
|---|---|---|
| 表面 | ≦1.2㎛ | ≦0.3nm |
| 背面 | ≦1.2㎛ | ≦0.3nm |
※数值是参考值，不是保证值。
※关于上述以外的形状·规格也请随意商(shāng)谈。
蓝宝石晶片
加工(gōng)示例
x線(xiàn)衍射装(zhuāng)置管理(lǐ)面方位对应了Φ450 mm尺寸的大型板块（左），内部机加工(gōng)中(zhōng)的大型圆环（照片中(zhōng)央）、使用(yòng)CMP进行镜面加工(gōng)的成膜用(yòng)基板（图右）等的实际加工(gōng)经验。
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大型板（全面磨削加工(gōng)）
Φ450×5T(mm)
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大型圆环（圆环形状加工(gōng)）
Φ320×φ300×7T(ｍｍ)
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成膜用(yòng)底板（双面镜面加工(gōng)）
Φ200×0.725T(ｍｍ)
加工(gōng)工(gōng)程
以下介绍一个大型单结晶蓝宝石产(chǎn)品加工(gōng)工(gōng)艺和设备的案例。
京瓷拥有(yǒu)大型产(chǎn)品的专用(yòng)设备，并利用(yòng)这些设备的技(jì )术能(néng)力，按照客户的要求制造产(chǎn)品。
本页(yè)记载的数值全部是公(gōng)司内部测定的代表值，不是产(chǎn)品规格的保证值。