高纯度氧化铝（AO479U）不仅具(jù)有(yǒu)优异的耐热性、耐腐蚀性、耐等离子性，而且还实现了低介電(diàn)正接（tanδ）和高强度的兼顾。本材质(zhì)，因為(wèi)介電(diàn)正接小(xiǎo)，能(néng)降低高频条件下的功率损失。另外，由于机械强度高，发热和真空时的部件损坏少。因此，由于能(néng)够节省人力进行调试，并保证工(gōng)艺的稳定运行，所以作(zuò)為(wèi)半导體(tǐ)制造设备的构件被广泛采用(yòng)。
特長(cháng)
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低介電(diàn)正接与高强度并存高纯度的同时，实现了低介電(diàn)正接和高强度的兼顾。
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支持广泛的频域在1mhz ~ 8.5GHz频带的广泛频率范围内，介電(diàn)正接表示低值。
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厚壁产(chǎn)品也有(yǒu)稳定性能(néng)40mm左右的厚壁产(chǎn)品也包含厚度方向的中(zhōng)央部分(fēn)，介電(diàn)正接显示稳定低值。
加工(gōng)示例
使用(yòng)Radio Frequency（高频）的半导體(tǐ)制造设备的绝缘部件
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底盘
Φ400×20t (mm)
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绝缘环
Φ400×50t (mm)
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腔室构成部件
Φ600×20t (mm)
※上述是加工(gōng)案例。上述以外的尺寸·形状也能(néng)对应。请随时咨询。
材料数据比较
与本公(gōng)司低介電(diàn)正接、高强度、高纯度氧化铝（AO479U）、本公(gōng)司传统材料低介電(diàn)正接氧化铝（AO479Q）以及本公(gōng)司高纯度氧化铝（AO479M）的主要特性比较
| 材质(zhì) 材质(zhì)编号（新(xīn)标记） 材质(zhì)编号（旧标记） |
低介電(diàn)正接、高强度、高纯度氧化铝 | 低介電(diàn)正接氧化铝 | 高纯度氧化铝 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AO479U | AO479Q | AO479M | |||||
| A479U | A479Q | A479M | |||||
| 含有(yǒu)量（Al2O3） | ％ | 99.6 | 99.3 | 99.5 | |||
| 机械性能(néng) | 维氏硬度 HV9.807N | GPa | 15.2 | 15.7 | 15.7 | ||
| 3点弯曲强度 | MPa | 380 | 290 | 370 | |||
| 杨氏模量 | GPa | 387 | 377 | 370 | |||
| 热性能(néng) | 平均線(xiàn)膨胀系数 | 40～400℃ | × 10-6/K | 7.2 | 7.0 | 7.2 | |
| 导热率 | 20℃ | W/（m・K） | 32 | 30 | 32 | ||
| 電(diàn)气性能(néng) | 表面電(diàn)阻值 | 1MHz | × 10-4 | ※请参照下述，介质(zhì)正接（tanδ）的测定数据详细。 | |||
| 10-100MHz | |||||||
| 8.5GHz | |||||||
| 體(tǐ)积電(diàn)阻率 | 20℃ | Ω・cm | > 1014 | > 1014 | > 1014 | ||
详细测量数据
電(diàn)介质(zhì)正接（tanδ）
本公(gōng)司的低介電(diàn)正接、高强度、高纯度氧化铝（AO479U），在广泛的频率范围内，介電(diàn)正接表示低值。另外，即使是40mm左右的厚产(chǎn)品，包括产(chǎn)品的中(zhōng)央部分(fēn)在内，介電(diàn)正接也显示出稳定的低值。
不同频率、不同材质(zhì)、不同厚度的介電(diàn)正切测量
测定方法
将烧好的厚度10 ~ 40mm的产(chǎn)品，从中(zhōng)央附近切出厚度1mm的测试片进行确认。
测量装(zhuāng)置
| 1MHz： | C仪表（桥接電(diàn)路法） |
| 13.56MHz： | 阻抗分(fēn)析器（高频電(diàn)流電(diàn)压法） |
| 8.5GHz： | 网络分(fēn)析器（腔谐振器法） |
● AO479U（A479U）
● AO479Q（A479Q）
● AO479M（A479M）
强度
本公(gōng)司低介電(diàn)正接、高强度、高纯度氧化铝（AO479U）在与传统材料同等的低介電(diàn)正接的同时，具(jù)有(yǒu)超过高纯度氧化铝（AO479M）的高强度。
如果您正在考虑寻找能(néng)在耐热性、耐腐蚀性、耐等离子體(tǐ)性的苛刻的环境下具(jù)有(yǒu)高强度、低介電(diàn)正切产(chǎn)品，以及通过降低功率损失实现稳定生产(chǎn)，欢迎前来咨询。
本页(yè)记载的数值全部是公(gōng)司内部测定的代表值，不是产(chǎn)品规格的保证值。