陶瓷材料
单结晶YAG Y3Al5O12
具(jù)有(yǒu)优异的耐等离子體(tǐ)性和透光性的材料
单结晶YAG是一种具(jù)有(yǒu)单结晶蓝宝石的机械性能(néng)和化學(xué)稳定性，同时还具(jù)有(yǒu)优异的耐等离子性的材料。相对于同样具(jù)有(yǒu)良好耐等离子性的白色氧化钇，由于单结晶YAG是透明的，透光性高，另外与多(duō)结晶體(tǐ)的氧化钇相比，单结晶的YAG在等离子體(tǐ)气體(tǐ)环境中(zhōng)具(jù)有(yǒu)更高的耐久性，因此也具(jù)有(yǒu)减少颗粒产(chǎn)生的特点。
- 重要特征：
- 耐等离子性
- 透光性
- 绝缘性
- 耐腐蚀性
- 高刚度
特征
耐等离子性
按蚀刻量比较
*这些数值是基于内部测量的参考值。
*各类等离子气體(tǐ)的处理(lǐ)时间為(wèi)4小(xiǎo)时。
按表面状况比较
*这些数值是基于内部测量的参考值。
*等离子蚀刻条件為(wèi)CF4气體(tǐ)，处理(lǐ)时间為(wèi)4小(xiǎo)时。
透光性
从紫外區(qū)到可(kě)见光以外的广泛范围内具(jù)有(yǒu)高透光性。
*这些数值是基于内部测量的参考值。特性值可(kě)能(néng)因产(chǎn)品形状和使用(yòng)条件有(yǒu)差异。
形状
对应尺寸
视窗/板状/其他(tā)
棒状，管状
用(yòng)途示例
它比单结晶蓝宝石具(jù)有(yǒu)更好的等离子體(tǐ)耐受性，产(chǎn)生的颗粒更少，通常主要用(yòng)于半导體(tǐ)制造工(gōng)艺。
特性
产(chǎn)品实例
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耐等离子材料其高纯度和出色的耐等离子性有(yǒu)助于延長(cháng)部件的使用(yòng)寿命。- 耐等离子性
- 低介電(diàn)损耗
